第1章 概论
1.1 等离子体概念
1.2 等离子体的各种性质
1.3 等离子体的分类
1.3.1 按存在分类
1.3.2 按电离度分类
1.3.3 按粒子密度分类
1.3.4 按热力学平衡分类
1.4 等离子体的应用
1.5 研究等离子体的方法
第2章 等离子体物理基础
2.1 等离子体中的粒子
2.2 等离子体间的碰撞
2.2.1 粒子间的相互作用
2.2.2 弹性碰撞和非弹性碰撞
2.2.3 碰撞截面
2.2.4 碰撞频率和平均自由程
2.2.5 库仑碰撞
2.2.6 气体原子（分子)的激发、离解和电离
2.3 等离子体特征量
2.3.1 粒子密度和电离度
2.3.2 等离子体温度
2.3.3 等离子体的时空特征量
2.3.4 沙哈（SAHA）方程
2.3.5 等离子体判据
2.3.6 等离子体的电导率
2.4等离子体的微观描述
2.4.1 等离子体的准电中性
2.4.2 等离子体扩散
2.4.3 等离子体振荡
2.4.4 等离子体鞘层
2.4.5 等离子体辐射
第3章 等离子体中的波
3.1 波动的一般概念
3.1.1 相速度群速度
3.1.2 色散关系
3.1.3 介电张量
3.2 冷等离子体中的电磁波
3.3 热等离子体中的波
3.4 电磁波在等离子体中的传播
3.4.1 电磁波在非磁化等离子体中的传播
3.4.2 电磁波在磁化等离子体中的传播
第4章 等离子体的形成理论
4.1 气体放电特性与原理
4.2 汤森放电
4.3 帕邢定律
4.4 罗果夫斯基理论
4.5 汤森理论的局限性
4.6 气体放电的相似定理
第5章 直流放电等离子体的生成方法
5.1 直流放电方法
5.2 电晕放电等离子体技术
5.2.1 电晕放电机理分析
5.2.2 电晕放电产生的阈值判据
5.2.3 电晕放电应用
5.3 直流辉光放电
5.3.1 放电区的结构和分布
5.3.2 辉光放电的阴极区
5.3.3 辉光放电的正柱区
5.3.4 各种气压条件下的辉光放电
5.4 电弧放电等离子体技术
5.4.1 电弧放电特性
5.4.2 电弧中的物理过程
5.4.3 电弧等离子体应用
第6章 交流放电等离子体的生成方法
6.1 电容耦合等离子体技术
6.1.1 电容耦合等离子体发生器
6.1.2 电容耦合等离子体的机理
6.1.3 电极上的自给偏压
6.1.4 等离子体吸收的功率
6.2 感应耦合等离子体（ICP）
6.2.1 感应耦合等离子体机理
6.3 微波等离子体
6.3.1 气体的微波击穿
6.3.2 微波等离子体的反器结构
6.3.3 ECR微波等离子体
6.4 介质阻挡放电（DBD）等离子体技术
6.4.1 介质阻挡放电的原理及特性
6.4.2 介质阻挡放电实验研究
6.4.3 介质阻挡放电应用
第7章 等离子体填充高功率微波器件
7.1 填充等离子体的高功率微波器件的几个基础问题
7.1.1 轴向耦合
7.1.2 横向耦合：混合模
7.1.3 具有周期性边界的等离子体
7.2 等离子体填充相对论返波管
7.2.1 等离子体加载波纹波导色散关系
7.2.2 数值结果
7.2.3 实验结果
7.3 等离子体辅助的慢波振荡器（PASOTRON）
7.3.1 Pasotron注-波互作用
7.3.2 等离子体辅助的慢波振荡器（PASOTRON）实验
7.4 等离子体耦合腔行波管
7.4.1 等离子体耦合腔行波管理论
7.4.2 等离子体耦合腔行波管设计
7.4.3 等离子体耦合腔行波管的微波特性
第8章 等离子体隐身技术
8.1 隐身技术简介
8.2 等离子体隐身的实际应用
8.3 等离子体隐身技术基本原理
8.3.1 等离子体折射隐身
8.3.2 等离子体吸收隐身
8.4 产生隐身等离子体方法
8.5 隐身的发展趋势
第9章 等离子体对材料的表面改性
9.1 等离子体与固体表面相互作用的基本过程
9.2 离子注入
9.2.1 基本原理和特点
9.2.2 离子注入设备介绍
9.2.3 离子注入在工业生产中的应用
9.3 等离子体物理气相沉积
9.3.1 基本原理和特点
9.4 等离子体增强化学气相沉积
9.4.1 等离子增强化学沉积技术机理
9.4.2 等离子气相沉积设备及工艺
9.5 等离子体聚合
9.5.1 等离子体聚合原理及特征
9.5.2 等离子体聚合设备
9.5.3 等离子体聚合膜的应用
9.6 等离子体电化学氧化
9.6.1 等离子体电化学氧化技术机理
9.6.2 等离子体电化学氧化涂层特性分析
9.6.3 等离子体电化学氧化设备及应用
9.7 等离子体技术在材料应用中的发展趋势
第10章 微波等离子灯
10.1 照明电光源的分类
10.2 光源特性参量
10.3 常见气体放电灯介绍
10.4 微波等离子灯的特点
第11章 微波诊断技术
第12章 光谱诊断技术
第13章 朗缪尔探针诊断技术
参考文献
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