学术专著·材料科学与工程：压电薄膜材料与器件制备技术

　　引言
　　上篇  压电薄膜制备技术
　　第一章  压电薄膜基础理论
　　1.1  薄膜生长与薄膜结构
　　1.2  压电原理与铁电效应
　　参考文献
　　第二章  压电薄膜制备技术与进展
　　2.1  压电薄膜的制备方法
　　2.2  压电薄膜研究进展
　　2.3  压电薄膜性能表征
　　参考文献
　　第三章  三元系PMnN-PZT铁电薄膜的研究
　　3.1  铁电材料发展简介
　　3.2  三元系PMnN-PZT铁电材料特性
　　3.3  三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征
　　参考文献
　　下篇  薄膜压电器件制备技术
　　第四章  声学器件原理与应用
　　4.1  压电器件的分类
　　4.2  声学器件原理与应用
　　参考文献
　　第五章  薄膜体声波谐振器理论研究
　　5.1  薄膜体声波谐振器的研究进展与热点
　　5.2  传输矩阵法理论
　　5.3  薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟
　　参考文献
　　后记

　　《学术专著·材料科学与工程：压电薄膜材料与器件制备技术》主要讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术，主要内容分为引言、上篇、下篇和后记。在引言部分，对全书内容做了总体介绍。在上篇中，介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法，对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述，主要阐述高压电性PzT基三元系铁电薄膜PMnN—PZT的制备与表征。在下篇中，介绍了压电器件的分类和声学器件的基础知识与进展，主要阐述了薄膜体声波谐振器（FBAR）的理论仿真、模拟与性能优化方法。在后记部分，对全书内容进行了总结。
　　《学术专著·材料科学与工程：压电薄膜材料与器件制备技术》可作为声学、材料学、微电子学等相关专业研究生的教学参考用书，也可供声学、压电学、薄膜材料和微型机电器件研究领域的科研工作人员参考。