第1章 硅单质及其化合物的性质
1.1 硅元素
1.2 硅单质及其性质
1.2.1 硅的物理性质
1.2.2 硅的化学性质
1.2.3 硅的分类及应用
1.3 硅化合物及其性质
1.3.1 二氧化硅
1.3.2 一氧化硅
1.3.3 硅的卤化物
1.3.4 三氯氢硅
1.3.5 硅烷
本章小结
思考与练习
第2章 晶体生长基础
2.1 晶体结构
2.1.1 晶体与非晶体
2.1.2 晶体的宏观特征
2.1.3 晶向指数与晶面指数
2.1.4 典型的晶体结构
2.1.5 硅的晶体结构
2.2 晶体缺陷
2.2.1 点缺陷
2.2.2 位错
2.2.3 面缺陷
2.3 相图及相图的利用
2.3.1 相平衡的概念及条件
2.3.2 相图及其在晶体生长中的应用
2.4 晶体的形核及生长
2.4.1 晶体的形核类型
2.4.2 晶体生长模型及生长形态
本章小结
思考与练习
第3章 硅料提纯
3.1 工业硅的制备
3.1.1 工业硅的生产工艺
3.1.2 工业硅熔炼过程反应机理
3.2 高纯多晶硅制备方法
3.2.1 硅的化学提纯
3.2.2 硅的物理提纯
3.3 高纯硅料制备新工艺
3.3.1 冶金法
3.3.2 四氯化硅金属还原法
3.3.3 二氧化硅高纯试剂还原法
3.3.4 铝一硅熔体低温凝固精炼法
本章小结
思考与练习
第4章 单晶硅制备
4.1 单晶硅的生长
4.1.1 单晶硅的直拉生长
4.1.2 单晶硅的区熔生长
4.2 单晶硅中的缺陷和杂质
4.2.1 单晶硅中的缺陷
4.2.2 单晶硅中的杂质
4.2.3 单晶硅中杂质和缺陷的控制与利用
本章小结
思考与练习
第5章 铸造多晶硅的制备
5.1 铸造多晶硅的制备及组织影响因素
5.1.1 铸造多晶硅方法
……
第6章 硅片制造
第7章 硅薄膜材料
第8章 新型薄膜光伏材料
附录 实验指导书