李志坚文集（套装上中下册）
目 录内容简介
序一
序二
编者的话
（上）
战略展望
微电子技术发展的回顾与展望
VLSI的极限和器件图形微细化
集成电路技术的进展与展望
器件物理
三硫化二锑多晶薄膜的光电导性
晶粒间层势垒在硫化铅多晶薄膜光电导中的作用
P型硅MOS结构C（t）不稳定性研究
用MIS结构C（t）特性同时决定半导体表面层内及体内的少子寿命
绝缘衬底上硅膜的激光侧向外延
关于MOS结构深耗尽c（v）特性的转折现象
Si／Sio2界面态研究中辅以脉冲和恒定红外光照的脉冲Q（V）法
硅耗尽层少子产生率的强电场效应
瞬态退火注砷硅亚稳态浓度的后热处理特性研究
硅耗尽表面准二维系统室温电子隧道能谱
MOS界面态电荷瞬态谱方法
FLOTOX型EEPROM存贮管的擦写特性与理论分析
MISIS结构的电特性和C（V）研究
MOS器件三维数值模拟
氮离子注入形成Si3N4埋层构成的Sio2／Si／Si3N4／Si多层结构的研究
AThree-Dimensional Analysis Program for MOS Devices and the Virtual Node Method
对MOS器件与虚拟节点法的三维分析方程
零偏源MOS结构的栅电荷弛豫机制及近少子带边界面态分布的瞬态谱测定
注砷硅快速热退火过程研究
RamanCharacterisationofStressinRecrystallisedSilicon-on-InSUlat（再结晶SOI中应力的拉曼谱特征
定域SOI区熔再结晶研究
LaterallySeededEpitaxyEnhancementinZoneMeltingRecrystallisabyIncreaseofSiliconFilmThickness通过增加硅层厚度的横向种子外延增强的区熔再结晶
一种新的有沟道注入的短沟MOSFET的阈电压解析模型
Defect-FreeSiliconFilmonSi02FormedbyZoneMeltingRecrystallizationwithHighScanningSpeed高速区熔再结晶形成SiO2上的无缺陷硅单晶膜
亚微米MOSFET热载流子退变的二维计算机模拟和分析
考虑碰撞电离下的亚微米MOSFET的二维数值模拟和分析
用沟道产额角分布技术研究硅中超固溶度激活杂质的失活机理
快速热退火硅中微缺陷分析
漏雪崩应力下热载流子注入引起的MOSFET退变特性研究
不同应力条件下亚微米MOSFETS热载流子退变特性实验研究
77KNMOSFET沟道热载流子注入效应
BMHMT-Bi-MOS混合模式晶体管
BMHMT：Device&ModelBMHMT：器件与模型
77KFowler-Nordheim电子注入和栅氧化层俘获特性研究
衬底正偏的MOSFET的近似模型
集成电路技术
MOSLSI自给衬偏电路的研究与改进
丁——多值代数及其电路
ACMOSCurrent-ModeHighSpeedFuzzyLogicMicroprocessorforaReal-TimeExpertSystem用于实时专家系统的CMOS电流型高速模糊逻辑微处理器
Analog Transistor Neural Networks Implemente dwith Floating Gate MOSFET for Binary Image Processing用于二进制图像处理的浮栅模拟MOS管神经网络
Single-ChipRealizationofaFuzzyLogicControllerwithNeural
Network Structure（NNFLC）具有神经网络结构的模糊控制器的芯片实现
基于模糊逻辑神经网络的智能学习控制研究
A Current-Mode Hamming Neural Network一种电流模式的汉明神经网络
Physical Systems Based on Intrinsic Transistor Characteristics andHaving Collective Computational Abilities基于本征晶体管特性和具有集合计算能力的物理系统
Handwritten Digits Recognition with Neural Networks and Fuzzy Logic应用神经网络和模糊逻辑实现手写数字识别
Speech Recognition Based on Fuzzy Vector Quantization and Fuzzy Logic基于模糊向量离散化和模糊逻辑的语音识别
Segment Matrix Vector Quantization and Fuzzy Logic for Isolated-Word Speech Recognition
用于孤立字识别的扇形矩阵向量离散化和模糊逻辑
A Multi-Input Fuzzy Processor for Pattern Recognition用于模式识别的多端输入模糊处理器
一种全对称高分辨精度的多端电流型MAX门和MIN门电路
Intelligent Controllers Based on Self-Learning FLNNs（Fuzzy Logic Neural Net-works）
基于自学模糊逻辑神经网络系统的智能控制器
A Comparison of TWO Kinds of Memberships and Multifactorial
Functions in Fuzzy Logic Speech Recognition
模糊逻辑语音识别中两种隶属关系和多级因子函数的对比
A Modified Hamming Neural Network with Different Thresholds and Multi-Valued Weights
具有不同阈值和多值权重的改进汉明神经网络一种模拟集成电路Hamming神经网络及其应用
A Switched-Capacitor Fuzzy Processor一种开关电容模糊控制器
系统集成技术
多晶硅应变膜压力传感器
A N ovel Structure of Pressure Sensors一种压力传感器的新型结构
硅盒结构集成MOS环振式压力传感器
Study of Fabrication Process of a Micro Electrostatic Switch and Its
Application to a Micromechanical V-F Converter
微型静电开关的制作工艺研究和它在V-F转换器中的应用
An Array Tactile Sensor with Piezoresistive Single-Crystal Silicon Diaphragm
基于压阻单晶硅膜的触觉传感器阵列
微多晶硅梁开关振荡器
An Array CMOS Magnetic-Field Sensor
阵列式CMOS磁场传感器
一种结构改进了的硅基微静电马达
一种硅基集成微晃动马达
硅基微静电马达
微机械梁内应力测量方法的研究
Study of Methods for Measuring Mechanical Properties of Thin Films
in Microelectromechanical Systems（MEMS）
微机电系统中薄膜机械特性的测量方法研究
The On-Chip Detection of Micromotor Rotational Speed
微马达转速的片上检测
New Methods for Measuring Mechanical Properties of Thin Films in
Micromachining：Beam Pull-In Voltage（VPI）Method and Long Beam
Deflection（LBD）Method
微加工中薄膜机械特性测量的新方法：梁牵引电压法和长梁挠曲法
压力传感器温度漂移补偿的一种新方法
A Silicon-Based Integrated Micromotor
一种硅基集成微马达
A New Approach to Convex Corner Compensation for AniSOtropic
Etching of（100）Si in KOH
（100）硅KOH各向异性腐蚀中凸角补偿的新方法
Design and Fabrication of Silicon Condenser Microphone Using Corrugated
Diaphragm Technique
应用纹膜技术的硅电容麦克风的设计与制作
纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究
（中）
战略展望
21世纪微电子技术发展展望
……
（下）
战略展望
器件物理
集成电路
系统集成
序二
编者的话
（上）
战略展望
微电子技术发展的回顾与展望
VLSI的极限和器件图形微细化
集成电路技术的进展与展望
器件物理
三硫化二锑多晶薄膜的光电导性
晶粒间层势垒在硫化铅多晶薄膜光电导中的作用
P型硅MOS结构C（t）不稳定性研究
用MIS结构C（t）特性同时决定半导体表面层内及体内的少子寿命
绝缘衬底上硅膜的激光侧向外延
关于MOS结构深耗尽c（v）特性的转折现象
Si／Sio2界面态研究中辅以脉冲和恒定红外光照的脉冲Q（V）法
硅耗尽层少子产生率的强电场效应
瞬态退火注砷硅亚稳态浓度的后热处理特性研究
硅耗尽表面准二维系统室温电子隧道能谱
MOS界面态电荷瞬态谱方法
FLOTOX型EEPROM存贮管的擦写特性与理论分析
MISIS结构的电特性和C（V）研究
MOS器件三维数值模拟
氮离子注入形成Si3N4埋层构成的Sio2／Si／Si3N4／Si多层结构的研究
AThree-Dimensional Analysis Program for MOS Devices and the Virtual Node Method
对MOS器件与虚拟节点法的三维分析方程
零偏源MOS结构的栅电荷弛豫机制及近少子带边界面态分布的瞬态谱测定
注砷硅快速热退火过程研究
RamanCharacterisationofStressinRecrystallisedSilicon-on-InSUlat（再结晶SOI中应力的拉曼谱特征
定域SOI区熔再结晶研究
LaterallySeededEpitaxyEnhancementinZoneMeltingRecrystallisabyIncreaseofSiliconFilmThickness通过增加硅层厚度的横向种子外延增强的区熔再结晶
一种新的有沟道注入的短沟MOSFET的阈电压解析模型
Defect-FreeSiliconFilmonSi02FormedbyZoneMeltingRecrystallizationwithHighScanningSpeed高速区熔再结晶形成SiO2上的无缺陷硅单晶膜
亚微米MOSFET热载流子退变的二维计算机模拟和分析
考虑碰撞电离下的亚微米MOSFET的二维数值模拟和分析
用沟道产额角分布技术研究硅中超固溶度激活杂质的失活机理
快速热退火硅中微缺陷分析
漏雪崩应力下热载流子注入引起的MOSFET退变特性研究
不同应力条件下亚微米MOSFETS热载流子退变特性实验研究
77KNMOSFET沟道热载流子注入效应
BMHMT-Bi-MOS混合模式晶体管
BMHMT：Device&ModelBMHMT：器件与模型
77KFowler-Nordheim电子注入和栅氧化层俘获特性研究
衬底正偏的MOSFET的近似模型
集成电路技术
MOSLSI自给衬偏电路的研究与改进
丁——多值代数及其电路
ACMOSCurrent-ModeHighSpeedFuzzyLogicMicroprocessorforaReal-TimeExpertSystem用于实时专家系统的CMOS电流型高速模糊逻辑微处理器
Analog Transistor Neural Networks Implemente dwith Floating Gate MOSFET for Binary Image Processing用于二进制图像处理的浮栅模拟MOS管神经网络
Single-ChipRealizationofaFuzzyLogicControllerwithNeural
Network Structure（NNFLC）具有神经网络结构的模糊控制器的芯片实现
基于模糊逻辑神经网络的智能学习控制研究
A Current-Mode Hamming Neural Network一种电流模式的汉明神经网络
Physical Systems Based on Intrinsic Transistor Characteristics andHaving Collective Computational Abilities基于本征晶体管特性和具有集合计算能力的物理系统
Handwritten Digits Recognition with Neural Networks and Fuzzy Logic应用神经网络和模糊逻辑实现手写数字识别
Speech Recognition Based on Fuzzy Vector Quantization and Fuzzy Logic基于模糊向量离散化和模糊逻辑的语音识别
Segment Matrix Vector Quantization and Fuzzy Logic for Isolated-Word Speech Recognition
用于孤立字识别的扇形矩阵向量离散化和模糊逻辑
A Multi-Input Fuzzy Processor for Pattern Recognition用于模式识别的多端输入模糊处理器
一种全对称高分辨精度的多端电流型MAX门和MIN门电路
Intelligent Controllers Based on Self-Learning FLNNs（Fuzzy Logic Neural Net-works）
基于自学模糊逻辑神经网络系统的智能控制器
A Comparison of TWO Kinds of Memberships and Multifactorial
Functions in Fuzzy Logic Speech Recognition
模糊逻辑语音识别中两种隶属关系和多级因子函数的对比
A Modified Hamming Neural Network with Different Thresholds and Multi-Valued Weights
具有不同阈值和多值权重的改进汉明神经网络一种模拟集成电路Hamming神经网络及其应用
A Switched-Capacitor Fuzzy Processor一种开关电容模糊控制器
系统集成技术
多晶硅应变膜压力传感器
A N ovel Structure of Pressure Sensors一种压力传感器的新型结构
硅盒结构集成MOS环振式压力传感器
Study of Fabrication Process of a Micro Electrostatic Switch and Its
Application to a Micromechanical V-F Converter
微型静电开关的制作工艺研究和它在V-F转换器中的应用
An Array Tactile Sensor with Piezoresistive Single-Crystal Silicon Diaphragm
基于压阻单晶硅膜的触觉传感器阵列
微多晶硅梁开关振荡器
An Array CMOS Magnetic-Field Sensor
阵列式CMOS磁场传感器
一种结构改进了的硅基微静电马达
一种硅基集成微晃动马达
硅基微静电马达
微机械梁内应力测量方法的研究
Study of Methods for Measuring Mechanical Properties of Thin Films
in Microelectromechanical Systems（MEMS）
微机电系统中薄膜机械特性的测量方法研究
The On-Chip Detection of Micromotor Rotational Speed
微马达转速的片上检测
New Methods for Measuring Mechanical Properties of Thin Films in
Micromachining：Beam Pull-In Voltage（VPI）Method and Long Beam
Deflection（LBD）Method
微加工中薄膜机械特性测量的新方法：梁牵引电压法和长梁挠曲法
压力传感器温度漂移补偿的一种新方法
A Silicon-Based Integrated Micromotor
一种硅基集成微马达
A New Approach to Convex Corner Compensation for AniSOtropic
Etching of（100）Si in KOH
（100）硅KOH各向异性腐蚀中凸角补偿的新方法
Design and Fabrication of Silicon Condenser Microphone Using Corrugated
Diaphragm Technique
应用纹膜技术的硅电容麦克风的设计与制作
纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究
（中）
战略展望
21世纪微电子技术发展展望
……
（下）
战略展望
器件物理
集成电路
系统集成
目 录内容简介
《李志坚文集（套装上中下册）》共三册，其中收集和整理了李志坚院士自上个世纪60年代到2007年间，不同时期发表的部分重要论文，其内容涉及微电子技术发展战略展望、半导体器件物理、集成电路技术、系统集成技术等方面。在50余年的科研与教学生涯中，李志坚院士长期坚持在第一线从事科学研究工作，并以其特有的睿智和对新技术的敏锐把握，与其合作者发表了大量的学术论文，对微电子科学与技术的发展作出了重要的贡献。
《李志坚文集（套装上中下册）》可以作为高等学校信息技术及微电子专业师生的参考书，也可供相关研究领域的科研技术人员学习参考。
《李志坚文集（套装上中下册）》可以作为高等学校信息技术及微电子专业师生的参考书，也可供相关研究领域的科研技术人员学习参考。
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