电子束曝光微纳加工技术

作者：顾文琪 主编
出版：北京工业大学出版社 2004.1
丛书：电子束离子束光子束微纳加工技术系列专著
页数：310
定价：50.00 元
ISBN-10：7563913009
ISBN-13：9787563913008 去豆瓣看看