微机电系统与微细加工技术

　　1 绪论
　　1.1 微机电系统与微型化
　　1.2 微型化韵基础——微细制造
　　2 微机电系统组成原理及设计
　　2.1 微机电系统的组成和工作原理
　　2.2 微尺度理论基础
　　2.3 计算机辅助设计
　　习题
　　3 微细加工技术
　　3.1 硅微细加工
　　3.2 UGA技术
　　3.3 微细电火花加工
　　3.4 微细电铸
　　3.5 微细电解加工
　　3.6 微细高能柬流加工
　　习题
　　4 微机电系统的检测
　　4.1 MEMS器件的几何量测量
　　4.2 力学性能测试
　　习题
　　5 微机电系统的应用
　　5.1 微机电系统的军事应用
　　5.2 微机电系统在民用工业中的应用
　　习题
　　参考文献

　　    《国防科工委“十五”规划教材：微机电系统与微细加工技术》共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。《微机电系统与微细加工技术》可作为机械工程类或其他工程类本科生、研究生课程的教材，也可以作为其他有关技术人员了解微机电系统与微制造技术的参考书籍。