微纳制造（影印版）

　　Preface
　　1. Principles of Micro-and Nanofabrication
　　1.1 Introduction
　　1.2 Material Removal Rates
　　1.3 Conclusions
　　1.4 Problems
　　References
　　2. Microfabrication Using X-ray Lithography
　　2.1 Introduction
　　2.2 X- ray Lithography
　　2.3 Synchrotron Radiation
　　2.4 Microfabrication Process
　　2.5 Methods of Resist Application
　　2.6 Exposure
　　2.7 Problems
　　References
　　3. Manufacturing High Aspect Ratio Microstructures
　　3.1 I ntrod uction
　　3.2 Dry Etching
　　3.3 Plasma Etching Processes
　　3.4 Characteristics of the Plasma
　　3.5 Etching of Microstructures
　　3.6 Micromachining High Aspect RatioMicrostructures
　　3.7 Micromolding
　　3.8 Micromolding Processes
　　3.9 Micromolding Tools
　　3.10 Micromold Design
　　3.11 MicromoldingApplications
　　3.12 Limitations of Micromolding
　　3.13 Fabrication of Moving Microstructures
　　3.14 Conclusions
　　3.15 Problems
　　References
　　4. Meso-micromachining
　　4.1 Introduction
　　4.2 Size Effects in Micromachining
　　4.3 Mechanism for Large Plastic Flow
　　4.4 Inhomogeneous Microstrains
　　4.5 Origins of the Size Effect
　　4.6 Meso-machining Processes
　　4.7 Problems
　　References
　　5. Mechanical Micromachining
　　5.1 Introduction
　　5.2 Microfluidic Systems
　　5.3 Theory of Micromachining
　　5.4 Experimental Micromachining
　　5.5 Micromachining Tool Design
　　5.6 High-Speed Air Turbine Spindles
　　5.7 Mechanical Design of Rotors
　　5.8 Discussion
　　5.9 Conclusions
　　5.10 Future Developments
　　5.11 Problems
　　References
　　6. Microgrinding
　　6.1 Introduction
　　6.2 Grinding Wheels
　　6.3 Conventional Grinding Processes
　　6.4 Precision Grinding Processes
　　6.5 Ultra Precision Grinding
　　6.6 Conclusions
　　6.7 Problems
　　References
　　7. Diamond Micro Cutting Tools
　　7.1 Introduction
　　7.2 Properties of Diamond
　　7.3 History of Diamond
　　7.4 CVD Diamond Technology
　　7.5 CVD Diamond Processes
　　7.6 Treatment of Substrate
　　7.7 Modification of HFCVD Process
　　7.8 Nucleation and Growth
　　7.9 Deposition on 3-D Substrates
　　7.10 Wear of Diamond
　　7.11 Time-Modulated CVD Diamond
　　7.12 Conclusions
　　7.13 Problems
　　References
　　8. Laser Micro- and NanofabricaUon
　　6.1 Introduction
　　8.2 Laser Fundamentals
　　8.3 Laser Microfabrication
　　8.4 Laser Nanofabrication
　　8.5 Conclusions
　　8.6 Problems
　　References
　　9. Micromachining Using Water Droplets
　　9.1 Introduction
　　9.2 Theory of Pulsed Liquid Impact
　　9.3 Impact by Water Drops
　　9.4 Modeling Machining Thresholds
　　9.5 Comparative Results
　　9.6 Material Removal Rates
　　9.7 Design of Water-Based Tools
　　9.8 Analysis of Space Frame
　　9.9 Mode Shapes of Tetrahedral Structure
　　9.10 Conclusions
　　9.11 Problems
　　References
　　10. Diamond Nanogrinding
　　10.1 Introduction
　　10.2 Piezoelectric Nanogrinding
　　10.3 Stress Analysis in Nanogrinding Grains
　　10.4 Fracture Dominated Wear Model
　　10.5 Nanogrinding
　　10.6 Porous Nanogrinding Tools
　　10.7 Laser Dressing of Tools
　　10.8 Future Directions
　　10.9 Problems
　　References
　　11. Nanomachining
　　11.1 Introduction
　　11.2 Nanometric machining
　　11.3 Theoretical Basis of Nanomachining
　　11.4 Implementation
　　11.5 Conclusions
　　11.6 Problems
　　References
　　12. Micro- and Nanomanufacturing
　　12.1 Introduction
　　12.2 Micromanufacturing
　　12.3 Nanomanufacturing
　　12.4 Commercialization Issues of Micro and Nanotechnologies
　　12.5 Future Developments
　　12.6 Problems
　　References
　　Subject Index

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