精密加工技术实用手册

　　前言
　　总论
　　1 精密加工和超精密加工范畴、特点、分类
　　1.1 精密加工和超精密加工范畴
　　1.2 精密加工和超精密加工的特点
　　1.3 精密加工和超精密加工方法及其分类
　　2 精密加工和超精密加工机理及工艺原则
　　2.1 加工概念的扩展
　　2.2 进化加工原则
　　2.3 微量加工理论
　　3 精密加工和超精密加工的体系结构
　　3.1 精密加工系统工程
　　3.2 影响精密加工和超精密加工的因素
　　4 精密加工和超精密加工的形成和发展
　　4.1 精密加工和超精密加工的形成
　　4.2 精密加工和超精密加工的需求
　　4.3 精密加工和超精密加工的技术地位和作用
　　4.4 精密加工和超精密加工的发展趋势和技术前沿
　　第1篇 精密切削、磨削及其机床
　　第1章 精密加工常用材料
　　.1.1 精密加工对材料的要求
　　1.2 精密加工对材料使用性能的要求
　　1.3 精密加工对材料工艺性能的要求
　　2 达到精密加工材料性能的工艺措施
　　2.1 热处理过程中的组织性能变化
　　2.2 改善加工性能的热处理
　　2.3 提高力学性能的热处理
　　2.4 提高耐磨性、耐腐蚀性的表面处理技术
　　2.5 消除应力、稳定组织的热处理
　　3 精密加工常用金属材料
　　3.1 碳素钢和合金钢
　　3.2 铸铁
　　3.3 有色金属
　　4 常用非金属材料
　　4.1 工程陶瓷
　　4.2 工程塑料
　　4.3 复合材料
　　4.4 其他材料
　　第2章 金刚石刀具超精密车削
　　1 金刚石刀具超精密车削机理
　　1.1 切削厚度与材料切应力的关系
　　1.2 材料缺陷及其对超精密车削的影响
　　1.3 加工表面的形成与质量
　　2 金刚石刀具的设计和刃磨
　　2.1 超精密车削对刀具的要求
　　2.2 金刚石的性能
　　2.3 金刚石的结构
　　2.4 金刚石晶体的面网
　　2.5 金刚石晶体各晶向的性能
　　2.6 金刚石原料的选取
　　2.7 金刚石晶体的定向
　　2.8 金刚石刀具的设计
　　2.9 金刚石刀具的刃磨
　　3 影响金刚石超精密车削的因素
　　3.1 金刚石刀具
　　3.2 被加工材料
　　3.3 超精密车床
　　3.4 工作环境
　　3.5 测量技术
　　4 金刚石刀具超精密车削工艺
　　4.1 刀具的磨损和耐用度
　　4.2 切削速度的选择
　　4.3 积屑瘤的生成规律
　　4.4 刀具锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响
　　4.5 进给量和修光刃对加工表面粗糙度的影响
　　5 金刚石刀具超精密车削的应用及其发展
　　第3章 精密磨削和超精密磨削
　　1 概述
　　1.1 精密和超精密磨料加工方法分类
　　1.2 精密磨削和超精密磨削磨料
　　1.3 精密磨具和超精密磨削磨具
　　2 普通磨料砂轮精密磨削
　　2.1 精密磨削及其机理
　　2.2 精密磨削砂轮选择
　　2.3 精密磨床
　　2.4 精密磨削时的砂轮修整
　　2.5 精密磨削时的磨削用量
　　2.6 精密磨削时的砂轮平衡
　　3 超硬磨料砂轮精密磨削
　　3.1 超硬磨料砂轮磨削特点及应用范围
　　3.2 金刚石微粉砂轮精密磨削
　　3.3 超硬磨料砂轮磨床
　　3.4 超硬磨料砂轮精密磨削工艺
　　3.5 超硬磨料砂轮修整
　　4 超精密磨削
　　4.1 超精密磨削的概念、特点和应用
　　4.2 超精密磨削机理
　　4.3 超精密磨床
　　4.4 超精密磨削工艺
　　5 精密和超精密砂带磨削
　　5.1 砂带磨削方式、特点和应用范围
　　5.2 砂带磨削加工机理
　　5.3 精密砂带磨床和砂带磨削头架
　　5.4 精密砂带磨削工艺
　　第4章 光整加工
　　1 光整加工的特点及类型
　　2 研磨
　　2.1 研磨特点和分类
　　2.2 研磨机理和运动轨迹
　　2.3 研具
　　2.4 研磨剂
　　2.5 研磨工艺参数
　　2.6 研磨方法与研磨实例
　　2.7 研磨的常见故障及排除方法
　　3 抛光
　　3.1 抛光机理与加工要素
　　3.2 抛光轮
　　3.3 抛光剂
　　3.4 抛光工艺参数
　　3.5 影响抛光表面质量的因素
　　4 珩磨
　　4.1 珩磨原理及工艺特点
　　4.2 珩磨头
　　4.3 工艺参数的选择
　　4.4 珩磨的切削过程
　　4.5 珩磨液
　　4.6 特种珩磨工艺
　　5 超精加工
　　5.1 超精加工原理及特点
　　5.2 加工机理
　　5.3 超精加工工艺参数与切削液
　　5.4 超精加工头和超精加工油石
　　5.5 轮式超精磨
　　5.6 无心外圆超精加工
　　6 新型光整加工方法
　　6.1 机械化学研磨
　　6.2 磁力研磨
　　6.3 非接触研磨
　　6.4 浮动抛光
　　6.5 光合抛光
　　第5章 超精密加工机床
　　1 概述
　　1.1 超精密机床发展现状
　　1.2 超精密机床的发展趋势
　　2 超精密加工机床的设计
　　2.1 对超精密机床的要求和设计原则
　　2.2 超精密机床的分类
　　2.3 超精密机床的基本问题
　　3 超精密机床的基础元部件和结构
　　3.1 超精密机床的总体布局
　　3.2 精密主轴部件
　　3.3 床身和精密导轨部件
　　3.4 微量进给装置
　　3.5 精密定位检测元件
　　4 典型超精密机床介绍
　　4.1 半球车床
　　4.2 半壳体车床
　　4.3 moore车床
　　4.4 r-θ车床
　　4.5 2m镜面车床
　　4.6 lodtm大型光学金刚石车床
　　4.7 dtm-3型大型超精密车床
　　4.8 msg-325型超精密车床
　　4.9 oagm 2500大型超精密车床
　　4.10 ahnio型高效专用车削、磨削超精密机床
　　4.11 超精密铣床
　　第2篇 精密特种加工
　　第6章 精密特种加工
　　1 概述
　　1.1 特种加工含义
　　1.2 特种加工方法的种类
　　1.3 特种加工的特点
　　1.4 特种加工技术的应用范围
　　2 电火花加工
　　2.1 电火花加工的基本原理、特点及分类
　　2.2 电火花加工的基本规律
　　2.3 电火花成形加工设备
　　2.4 工具电极
　　2.5 电火花穿孔成形加工工艺
　　3 电火花线切割加工
　　3.1 电火花线切割加工原理原理、分类、特点及应用范围
　　3.2 电火花线切割加工设备
　　3.3 电极丝
　　3.4 电火花线切割工艺
　　4 电解加工
　　4.1 电解加工基本原理、特点及应用
　　4.2 电解加工中的基本规律
　　4.3 电解加工机床
　　4.4 电解质溶液
　　4.5 电解加工工艺方法
　　4.6 电解磨削
　　4.7 电镀加工
　　5 电子束加工
　　5.1 电子束的热效应及其加工
　　5.2 电子束的化学效应及其加工
　　5.3 电子束加工装置
　　5.4 电子束加工的特点及应用
　　6 离子束加工
　　6.1 离子束的力效应及溅射现象
　　6.2 离子束加工方法
　　6.3 离子束加工装置
　　6.4 离子束加工的特点及应用
　　7 激光束加工
　　7.1 激光的产生过程及特性
　　7.2 激光束加工机理
　　7.3 激光束加工方法
　　7.4 激光束加工设备
　　7.5 激光束加工的特点及应用
　　8 光刻加工
　　8.1 工作原版制作
　　8.2 光刻
　　9 超声加工
　　9.1 超声加工的基本原理和特点
　　9.2 超声加工设备
　　9.3 超声加工工艺
　　9.4 超声加工的应用
　　第3篇 微细加工与微型机械
　　第7章 微细加工技术
　　1 半导体微细加工技术
　　1.1 氧化、掺杂与沉积
　　1.2 刻蚀
　　1.3 加工实例
　　2 liga工艺
　　3 特点微细加工技术
　　3.1 微细电火花加工
　　3.2 光成形微细加工
　　3.3 其他微细加工方法
　　4 粘接装配技术
　　4.1 粘接技术
　　4.2 微操作装配技术
　　第8章 微型机械与微型机电系统
　　1 概述
　　2 微型传感器
　　2.1 微型压力和流量传感器
　　2.2 微型加速度传感器
　　2.3 微型陀螺仪
　　3 微型致动器
　　3.1 微型旋转/角位移致动器
　　3.2 微型直线/振动型致动器
　　4 微量流体控制器件与系统
　　4.1 微型阀
　　4.2 微型泵
　　4.3 微量流体控制系统
　　第4篇 精密测量和质量保证
　　第9章 精密测量技术
　　1 精密测量原理
　　1.1 测量的一般概念
　　1.2 精密测量原理
　　1.3 制定测量方案时应考虑的若干因素
　　2 典型几何量的测量方法与仪器
　　2.1 常见的几何量测量仪器
　　2.2 轴类零件的测量
　　2.3 孔类零件的测量
　　2.4 锥度测量
　　2.5 螺旋线的测量
　　2.6 渐开线的测量
　　3 典型物理量的精密测量方法与仪器
　　3.1 常用的力学性能测试
　　3.2 振动性能检测
　　4 精密测量的精度分析
　　4.1 测量误差的来源分析
　　4.2 评定测量精度的两个综合性指标
　　4.3 精密测量中的误差理论
　　5 典型精密测量系统简介
　　5.1 双频激光外差干涉仪及应用
　　5.2 圆度仪及圆度测量
　　5.3 三坐标测量机
　　5.4 莫尔条纹技术
　　第10章 微尺寸测量技术
　　1 微小尺寸测量的概念和特点
　　2 微位移的测量
　　2.1 光干涉法微位移的测量
　　2.2 外差干涉轮廓测量
　　3 平面度和表面粗糙度的测量
　　3.1 平面度误差的测量和数据处理
　　3.2 表面粗糙度的测量及仪器
　　4 微细图形尺寸的测量
　　4.1 比较测量
　　4.2 直接测量
　　5 台阶、膜厚的测量及其他
　　5.1 台阶测量
　　5.2 膜层厚度测量
　　第11章 微位移技术
　　1 概述
　　1.1 微位移机构的分类
　　1.2 微位移系统的应用
　　2 微位移机构的原理
　　2.1 压电、电致伸缩器件
　　2.2 电磁驱动器件
　　2.3 电热式微位移机构
　　2.4 机械式微位移机构
　　3 柔性铰链
　　3.1 柔性铰链的类型及特点
　　3.2 柔性铰链的设计
　　4 精密微动工作台的设计及其特性分析
　　4.1 精密微动工作台的设计要求
　　4.2 精密微动工作台设计中的几个问题
　　4.3 精密微动工作台的设计
　　5 常用的微动工作台简介
　　5.1 柔性支承-压电或电致伸缩微位移驱动器驱动的微动工作台
　　5.2 平行弹簧导轨
　　5.3 滚动导轨-压电器件驱动
　　5.4 气浮导轨
　　第12章 误差的在线检测与补偿技术
　　1 概述
　　1.1 先进制造技术及其发展
　　1.2 先进制造系统中的质量监控技术
　　1.3 影响加工精度的因素
　　1.4 保证加工精度的途径
　　2 误差检测技术
　　2.1 误差检测技术简述
　　2.2 位称量的检测
　　2.3 机械加工
　　3 误差补偿技术
　　3.1 几何误差的补偿
　　3.2 热误差的补偿
　　3.3 机床误差的其他补偿方法
　　4 在线检测与补偿系统举例
　　4.1 阿贝误差实时修正系统
　　4.2 机床热误差的测量与补偿
　　第13章 精密和超精密加工的支持环境
　　1 空气的环境和热环境
　　1.1 空气环境
　　1.2 热环境
　　1.3 洁净室
　　1.4 分层次的局部环境
　　2 振动环境
　　2.1 振动干扰的影响
　　2.2 振动干扰的消除
　　2.3 隔振器的隔振原理
　　2.4 隔振元器件
　　3 噪声环境
　　3.1 噪声及其影响
　　3.2 噪声源
　　3.3 噪声控制
　　4 其他环境
　　4.1 光环境
　　4.2 静电环境
　　5 精密和超精密加工的环境设施
　　第5篇 典型精密元件加工
　　第14章 精密基准件加工
　　1 精密平板和直角尺加工
　　1.1 精密平板的加工
　　1.2 精密直角尺的加工
　　2 精密分度板（盘）加工
　　2.1 精密分度板的技术要求
　　2.2 精密分度板的加工工艺
　　2.3 精密分度方法
　　3 精密球加工
　　3.1 球面研磨原理
　　3.2 四轴自动球面研磨原理
　　参考文献

　　本书分5 篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、金刚石刀具超精密车削、精密磨削和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工、微细加工技术、微型机械与微型机电系统等。