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微执行器

微执行器
作者:张琛,陈文元,陈佳品 编著
出版:上海交通大学出版社 2005.12
丛书:微米纳米科学与技术丛书
页数:295
定价:39.00 元
ISBN-10:7313041772
ISBN-13:9787313041777 去豆瓣看看 
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目 录内容简介
      微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来,随着微电子技术和微细加工工艺的快速发展,特别是微纳米技术的蓬勃兴起,为微执行器的开研究提供了有力的技术支持。《微执行器》共分9章,系统阐述和介绍了微执行器中电磁型微马达、光学执行器、微阀门、微型泵、生物微执行器、微机械执行器和化学执行器的基本原理、技术基础、制造工艺和应用实例。
      《微执行器》可供从事自动化领域及微纳米技术研究的工程技术人员阅读参考,也可作为大专院校中相关专业师生的参考书。




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