北京市高等教育精品教材立项项目：微机电系统技术基础

　　前言
　　1 微机电系统概述
　　1.1 微机电系统技术的基本概念及特点
　　1.2 微机电系统的研究领域
　　1.3 微机电系统采用的材料
　　1.4 主要工艺技术
　　1.5 微机电系统技术的发展
　　1.6 微机电系统的应用前景
　　参考文献
　　2 微机电系统的材料
　　2.1 概述
　　2.2 硅
　　2.3 陶瓷
　　2.4 金属
　　2.5 凝胶
　　2.6 电流变体（Electro－rheological fluids，ERF）
　　2.7 磁流变体（Magneto－rheological fluids，MRF）
　　参考文献
　　3 硅集成电路工艺基础
　　3.1 薄膜生长
　　3.2 光刻
　　3.3 薄膜刻蚀
　　参考文献
　　4 MEMS加工技术
　　4.1 硅的湿法腐蚀
　　4.2 硅的深刻蚀技术
　　4.3 键合与双面光刻技术
　　4.4 集成工艺
　　4.5 其他工艺技术
　　参考文献
　　5 微机电系统的设计方法学
　　5.1 MEMS设计概述
　　5.2 MEMS系统级设计
　　5.3 MEMS器件级设计
　　5.4 MEMS工艺设计
　　5.5 版图设计
　　5.6 IMEE系统及其设计实例
　　参考文献
　　6 微机电系统的组成
　　6.1 微机械传感器
　　6.2 微驱动器
　　6.3 微能源
　　参考文献
　　7 微机电系统检测技术
　　7.1 概述
　　7.2 微几何量测量
　　7.3 微机械材料特性检测
　　参考文献
　　8 微机电系统的应用
　　8.1 微机电系统在医学中的应用
　　8.2 微机电系统在汽车中的应用
　　8.3 微机电系统在信息技术中的应用
　　8.4 微机电系统在军事领域中的应用
　　参考文献

　　    《北京市高等教育精品教材立项项目：微机电系统技术基础》全面系统地介绍了有关微机电系统的基本知识，内容包括：微机电系统概述、微机电系统的材料、硅集成电路工艺基础、MEMS加工技术、微机电系统的设计方法学、微机电系统的组成、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。《北京市高等教育精品教材立项项目：微机电系统技术基础》内容丰富，讲解通俗易懂，具有很强的可读性。