泛结构化微机电系统集成设计方法

　　第1章 绪论
　　1.1 微机电系统简介
　　1.2 微机电系统设计工具及设计方法简介
　　1.3 结构化MEMS设计方法及面临的挑战
　　1.4 泛结构化MEMS集成设计方法的提出
　　1.5 小结
　　参考文献
　　第2章 泛结构化MEMS集成设计方法的理论体系
　　2.1 引言
　　2.2 集成设计体系
　　2.3 分层设计体系
　　2.4 柔性设计体系
　　2.5 创成设计体系
　　2.6 三维设计体系
　　2.7 小结
　　参考文献
　　第3章 分层设计体系及实现技术
　　3.1 引言
　　3.2 系统级设计
　　3.3 器件级设计
　　3.4 工艺级设计
　　3.5 小结
　　参考文献
　　第4章 柔性设计体系及实现技术
　　4.1 引言
　　4.2 系统级网表到工艺级二维版图的转换方法
　　4.3 系统级网表到器件级三维实体的转换方法
　　4.4 器件级三维实体到工艺级二维版图的转换方法
　　4.5 器件级到系统级的宏建模转换方法
　　4.6 工艺级二维版图到器件级三维实体的转换方法
　　4.7 工艺级二维版图到系统级模型的转换方法
　　4.8 小结
　　第5章 创成设计体系及实现技术
　　5.1 引言
　　5.2 系统级创成式设计
　　5.3 器件级创成式设计
　　5.4 工艺级创成式设计
　　5.5 小结
　　参考文献
　　第6章 宏建模方法及应用
　　6.1 引言
　　6.2 模型降阶的数学描述
　　6.3 线性MEMS系统宏建模方法
　　6.4 几何非线性MEMS系统宏建模方法
　　6.5 多域耦合MEMS宏建模方法
　　6.6 参数化模型降阶方法
　　6.7 宏建模方法的应用
　　6.8 小结
　　参考文献
　　第7章 三维设计体系及实现技术
　　7.1 引言
　　7.2 系统级的三维设计
　　7.3 器件级的三维设计
　　7.4 工艺级的三维设计
　　7.5 小结
　　参考文献
　　第8章 集成设计体系及实现技术
　　8.1 引言
　　8.2 集成设计工具的架构
　　8.3 集成设计环境的实现
　　8.4 小结
　　第9章 设计工具应用及器件设计实例
　　9.1 引言
　　9.2 平面解耦式z轴陀螺
　　9.3 音叉电容式微机械陀螺
　　9.4 平面单轴加速度计
　　9.5 z轴加速度计
　　9.6 微型压力传感器
　　9.7 小结

　　苑伟政，1961年生，教授，博士生导师，“长江学者”特聘教授。兼任中国微纳米技术学会理事、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中国机械工程学会微纳制造技术分会委员等，《机械工程学报》《传感技术学报》等编委。主要从事微机电系统研究，留法回国后在国内率先开展了MEMS集成设计、MEMS灵巧蒙皮、微机械准分子激光微细加工技术等前沿研究，并在微能源、微惯性器件以及微光学系统等方面形成了研究特色。获省部级科技一等奖3项、二等奖5项、三等奖5项。
　　常洪龙，1977年生，博士副教授。主要从事微惯性技术、微机电系统集成设计方法及相关技术的研究。近年来，主持了国家自然科学基金2项、国家高技术研究计划（“863”计划）项目2项，作为课题副组长主持完成国家高技术研究计划（“863”计划）项目2项，研发了国产MEMS集成设计工具（MEMS Garden）。发表论文30余篇，申请国家发明专利27项，授权10项，获省部级一等奖2项、二等奖2项、三等奖1项。

　　    《泛结构化微机电系统集成设计方法》提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提出的一种新的方法和理论，是对当前通用的微机电系统结构化设计方法的重要发展和提高。依据本方法实现了国产微机电系统集成设计工具（MEMS Garden），并结合大量典型和复杂MEMS器件实例验证了本方法和设计工具的实用性和先进性。
　　    《泛结构化微机电系统集成设计方法》可供微机电系统相关学科的科研人员参考。