第1章 概述
1．1 硅的简介
1．2 硅材料工业概况
1．3 多晶硅的生产方法
小结
习题
第2章 纯水的制备
2．1 水的概述
2．2 离子交换法简介
2．3 去离子水（高纯水）的制备工艺
2．4 离子交换法制备纯水
2．5 纯水制备系统主要设备及工作原理
2．6 纯水制备系统运行控制
2．7 纯水制备系统的清洗
2．8 高纯水的测量
小结
注释
习题
第3章 工业硅的生产
3．1 工业硅生产原理及影响因素
3．2 工业硅生产工艺
3．3 工业硅生产操作
3．4 工业硅生产设备
3．5 生产操作及安全控制
3．6 烟气净化利用
小结
习题
第4章 氢气的制备和净化
4．1 氢气的简介
4．2 氢气的生产工艺
4．3 氢气的净化、储存和运输
4．4 氢气的安全使用
小结
习题
第5章 液氯的汽化
5．1 氯气的性质
5．2 液氯的汽化
5．3 氯的存放和安全使用
小结
习题
第6章 氯化氢的合成
6．1 氯化氢的性质
6．2 氯化氢的合成原理
6．3 氯化氢合成工艺过程
6．4 主要设备及其作用
6．5 工艺条件选择和操作要点
6．6 质量控制要点
6．7 安全控制
小结
习题
第7章 三氯氢硅的合成
7．1 三氯氢硅制备原理
7．2 三氯氢硅合成工艺流程
7．3 三氯氢硅合成的主要设备
7．4 三氯氢硅合成的工艺条件
7．5 生产现场操作要点
小结
习题
第8章 三氯氢硅的提纯
8．1 三氯氢硅中杂质含量的分析
8．2 提纯三氯氢硅的方法简介
8．3 精馏的基本概念
8．4 双组分溶液的气液相平衡
8．5 精馏原理
8．6 精馏塔的物料衡算——操作线方程
8．7 双组分连续精馏过程的计算
8．8 精馏提纯设备
8．9 精馏工艺
小结
习题
第9章 三氯氢硅氢还原制备高纯硅
9．1 三氯氢硅氢还原的原理及影响因素
9．2 三氯氢硅氢还原的工艺
9．3 三氯氢硅氢还原操作要点及事故处理
9．4 三氯氢硅氢还原工艺质量要求
9．5 三氯氢硅氢还原工艺中的计算
9．6 还原生产中的热能综合利用
小结
习题
第10章 还原尾气干法回收工艺
10．1 重要作用和意义
10．2 干法回收的工艺过程
10．3 四氯化硅的氢化
小结
习题
第11章 硅芯的制备与腐蚀
11．1 硅芯的制备
11．2 硅芯腐蚀
小结
习题
第12章 硅烷法制备高纯硅
12．1 硅烷的概述
12．2 原料的制取及处理
12．3 硅烷的发生
12．4 硅烷的提纯
12．5 硅烷热分解制备多晶硅
小结
习题
参考文献
缺书网
扫码进群