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真空科学与技术丛书:真空镀膜

真空科学与技术丛书:真空镀膜
作者:李云奇 (作者)
出版:化学工业出版社 2012.8
丛书:真空科学与技术丛书
定价:85.00 元
ISBN-13:9787122127808
ISBN-10:712212780X 去豆瓣看看 
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目 录内容简介
       《真空科学技术丛书:真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步,注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章,内容包涵了真空镀膜中物理基础,各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求,各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控,真空镀膜工艺对环境的要求等。本书具有专业性、实用性和通用性。
        《真空科学技术丛书:真空镀膜》可作为从事真空镀膜技术的技术人员、真空专业的本科生、研究生教材使用,亦可供镀膜、表面改型等专业和真空行业技术人员参考。




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