微小世界里的新天地：神奇的薄膜

　　目录第1章 幸福生活从美丽与微观开始001 展现缤纷色彩的颜料 用微小粉末描绘美丽世界 002002 复制美丽——相片 彩色相片与数码相机 004003 薄膜技术使机器人不断进化 利用薄膜材料与计算机进行精密制备 006004 创造五种感官 视觉、听觉、嗅觉、味觉与触觉的创造 008005 制造人工智能 010006 我们身边的电子产品都在使用薄膜 012007 利用不分解的压延技术，可以薄到什么程度 014008 制造薄膜与制作精细图案 016COLUMN 真空的含义 018第2章 制备薄膜的重要环境条件——真空009 真空——压强低于大气压的空间状态 020010 真空的单位与压强的单位：帕斯卡（Pa） 022011 抽出和吸附——真空泵的分类 024012 真空的分析和测量 真空计 026013 真空装置的制造方法 028COLUMN 质量瞬移 030第3章 薄膜的制备014 薄膜的形成——先气化，再固化沉积 032015 四种气化源 034016 单层生长与形核长大 薄膜的生长① 036017 薄膜内部缺陷 薄膜的生长② 038018 仅有薄膜还不够 薄膜与基板的结合 040019 目标：单晶薄膜 042COLUMN 出身和教育同样重要 044第4章 薄膜特有的性质020 薄膜的密度和厚度会随时间减小 046021 薄膜电阻的变化比体材料大 048022 热稳定性降低 通过时效处理加以克服 050COLUMN 薄膜和基板的连接 052第5章 增强基板与薄膜结合的技术023 制膜的基础：平整的基板 054024 前期处理：使基板表面完全裸露 056025 前期处理的最后工序：干燥 058026 制备附着强度更强的薄膜 060027 改变气化源、增加附着强度 062028 薄膜与基板的相合性更为重要 064029 着陆点：险峻的山地 066030 得到希望的薄膜组成 068031 制造用于大面积集成电路的非晶薄膜 070032 电迁移断线及其解决方法 072COLUMN 太阳之子——等离子体 074第6章 等离子体在薄膜制备中的重要性033 等离子体的神奇之处及其应用 076034 通过放电获得等离子体 078035 低气压（良好真空）下的磁控放电 080036 产生薄膜用等离子体的五种方法 082037 薄膜制备的难题——尘埃 084COLUMN 望远镜和照相机视场变亮的奥秘 086第7章 从古代沿用至今的蒸镀法038 蒸发源 088039 加工等厚膜的方法 090040 离子镀的使用 092041 进一步发挥离子的作用 094042 防止蒸镀材料与薄膜间的成分变化 激光沉积法 096043 制作透明导电的薄膜 透明导电薄膜的蒸镀方法 098COLUMN 活学活用 100第8章 大面积气化源、适于批量生产的溅射法044 溅射率是由离子能量和薄膜材料的种类决定的 102045 溅射产生的原子遵循余弦法则且速度非常快 104046 溅射的主要方式 106047 以低电压、定压（高真空）为目标的磁控溅射 108048 支撑半导体IC高集成度发展的铝合金溅射 110049 利用反应溅射制作高性能电阻膜 112050 用溅射法制作氧化物高温超导膜 114051 低电压下制造透明导电膜（氧化物）ITO 116052 薄膜加工的过渡——从平面成膜到微孔成膜 118053 利用离子进行超微细孔的填埋 120054 向高真空、无氩气溅射的过渡 122COLUMN 神奇的过程——从气体到薄膜 124第9章 由气体制作薄膜的气相沉积法055 气体向固体的转变：薄膜的气相沉积 126056 很多的CVD方法已被实用化 128057 CVD法制备IC中至关重要的硅系薄膜 130058 高清彩色电视用的硅薄膜 132059 高诱电率薄膜和低诱电率薄膜的制作 134060 用气相沉积法制备金属导体薄膜 136061 表面改性法制备氧化薄膜、氮化薄膜 138COLUMN 从水（液体）中提取薄膜（固体） 140第10章 在液体中制作镀膜062 镀膜技术的发展 142063 液相镀膜和真空薄膜中的核生长 144064 精密镀膜在电气领域的应用 146COLUMN 用世界上最小的刀进行切削加工 148第11章 将薄膜加工成电路、晶体管等的蚀刻技术065 蚀刻法制备图样：在正确的位置加工正确的形状 150066 用气体离子进行蚀刻 152067 最关键的一步——等离子体的制备 154068 反应气体是重要的 156069 决定蚀刻的条件 158070 利用极细离子束进行故障修理 160071 利用CMP进行平坦化处理 162072 无CMP的平坦化技术 164COLUMN 向伟大的梦想前进！ 166第12章 薄膜发展的无限可能性073 操控原子，制造未来仪器 168074 薄膜——带动世界通信网络发展 170075 用微动同步器挽救生命 172076 生物计算机的使用 174参考文献 177译后记 180

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