译丛序言
译者序
前言
第1章 引言
1.1 需要精密控制的领域
1.1.1 精密工程
1.1.2 微制造
1.1.3 生物技术
1.1.4 纳米技术
1.2 精密机械和工具
1.3 精密运动控制系统的应用
1.4 本书的范围
第2章 精密跟踪运动控制
2.1 压电驱动器
2.1.1 压电驱动器配置的类型
2.1.2 数学模型
2.1.3 自适应控制
2.2 永磁直线电动机（PMLM）
2.2.1 PMLM的类型
2.2.2 数学模型
2.2.3 力的波动
2.2.4 摩擦
2.2.5 复合控制
2.2.6 加速度控制增强
2.2.7 波动补偿
2.2.8 干扰观测及消除
2.2.9 鲁棒自适应控制
2.2.1 0迭代学习控制
第3章 控制参数的自整定
3.1 继电器自整定
3.1.1 延时继电器
3.1.2 双通道继电器整定
3.2 摩擦建模使用继电器反馈
3.2.1 摩擦辨识方法
3.2.2 模拟
3.2.3 自适应控制的初始化
3.3 继电器振荡的最优特征提取
3.4 试验
第4章 龙门系统的协调运动控制
4.1 协调控制方案
4.1.1 经典主/从方法
4.1.2 设定点协调控制
4.1.3 整体协调控制
4.2 仿真研究
4.2.1 控制任务
4.2.2 结果
4.3 试验
4.3.1 XY工作台——配置Ⅰ
4.3.2 XY图表——配置Ⅱ
4.4 自适应协调控制方案
4.4.1 龙门台的动态建模
4.4.2 基于模型的自适应控制设计
4.4.3 稳定性分析
4.4.4 软件仿真
4.4.5 实施结果
第5章 几何误差补偿
5.1 激光测量系统概述
5.2 激光测量系统的组件
5.2.1 激光头
5.2.2 干涉仪和反射器
5.2.3 测量接收机
5.2.4 测量与控制电子电路
5.3 激光校准概述
5.3.1 线性测量
5.3.2 角度测量
5.3.3 直线度测量
5.3.4 垂直测量
5.4 使用水平敏感设备的滚动测量
5.5 精度评估
5.6 影响测量精度的因素
5.6.1 线性测量误差
5.6.2 角测量误差
5.6.3 直线度测量误差
5.6.4 环境条件
5.7 总体误差模型
5.8 几何误差的查表
5.9 几何误差的参数化模型
5.9.1 径向基函数与误差建模
5.9.2 参数误差逼近
5.9.3 试验
5.9.4 使用多层神经网络误差建模
5.1 0随机误差的机械补偿
5.1 0.1 概率方法
5.1 0.2 试验
第6章 电子插值误差
6.1 海德曼插值法
6.1.1 插值界
6.1.2 校准和补偿
6.2 增强插值法
6.2.1 增强插值法的原理
6.2.2 构建一个查表
6.2.3 试验
6.3 插值的参数模型
6.3.1 插值方法的原理
6.3.2 预补偿阶段
6.3.3 插值阶段
6.3.4 试验研究
第7章 振动监测与控制
7.1 机械设计中尽量减少振动
7.1.1 机械结构的稳定性和静定性
7.1.2 二维结构
7.1.3 三维结构
7.2 自适应陷波器
7.2.1 快速傅里叶变换
7.2.2 模拟
7.2.3 试验
7.3 实时振动分析仪
7.3.1 学习模式
7.3.2 监测模式
7.3.3 诊断模式
7.3.4 试验
7.3.5 远程监控
7.3.6 实现
第8章 其他工程方面
8.1 规格
8.2 选择电动机和驱动器
8.3 选择光学编码器
8.4 控制平台
8.4.1 硬件结构
8.4.2 软件开发平台
8.4.3 用户界面
8.5 精度测量
8.6 数字通信协议
8.6.1 现场总线协议栈
8.6.2 常见的现场总线
附录激光校准光学仪器、附件和配置
参考文献
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