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薄膜物理与技术

薄膜物理与技术
作者:杨邦朝 (作者), 王文生 (作者)
出版:电子科技大学出版社 1994.1
丛书:高等学校工科电子类规划教材
页数:237
定价:28.00 元
ISBN-10:7810167499
ISBN-13:9787810167499 去豆瓣看看 
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目 录内容简介
      《高等学校工科电子类规划教材:薄膜物理与技术》主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容。书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法,包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等。同时介绍了薄膜的的形成,薄膜的结构与缺陷,薄膜的电学性质、力学性质、半导体特性、磁学性质以及超导性质等。论述中注重基本概念的阐述,叙述尽量深入浅出,并注意到原理与技术相联系,理论与实践相结合。
      《高等学校工科电子类规划教材:薄膜物理与技术》为电子材料与元器件专业的规划教材,亦可作为物理电子技术、半导体物理与器件、应用物理等专业的教材或教学参考书,同时亦可供从事电子元器件、混合集成电路的工程技术人员参考使用。


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