铜铟铝硒（CIAS）薄膜太阳能电池关键材料--制备和性能

　　第1章绪论1
　　1?1太阳能电池概述1
　　1?2晶体硅太阳能电池2
　　1?3聚合物多层修饰电极型太阳能电池3
　　1?4有机太阳能电池3
　　1?5多元化合物薄膜太阳能电池5
　　参考文献6
　　第2章CIS类太阳能电池8
　　2?1CIS类太阳能电池的发展8
　　2?2CIS类太阳能电池的构成9
　　2?3CIS类薄膜材料12
　　2?4CdS薄膜材料16
　　2?5ZnS薄膜材料17
　　参考文献19
　　第3章薄膜材料制备22
　　3?1VEMF法制备CIAS吸收层薄膜22
　　3?2IFTUMS技术制备CIAS吸收层薄膜26
　　3?3CBD法制备CdS缓冲层薄膜30
　　3?4CBD法制备ZnS缓冲层薄膜33
　　3?5场发射TEM薄膜样品的制备36
　　参考文献37
　　第4章薄膜材料表征39
　　4?1薄膜的厚度39
　　4?2薄膜的表面形貌及成分40
　　4?3薄膜的物相结构40
　　4?4TEM选区成像、衍射、衍衬及成分40
　　4?5薄膜的XPS表征41
　　4?6薄膜的光电性能42
　　参考文献43
　　第5章铜铟铝硒(CIAS)薄膜44
　　5?1VEMF法及后硒化技术制备CIAS薄膜的性能44
　　5?1?1CIAS薄膜硒化前后性能分析44
　　5?1?2Al的相对含量对CIAS薄膜性能的影响48
　　5?2IFTUMS及后硒化技术制备CIAS薄膜性能53
　　5?2?1CIAS薄膜硒化前后性能分析53
　　5?2?2Al的相对含量对CIAS薄膜性能的影响58
　　5?3PVD法薄膜的成膜机制63
　　5?3?1VEMF法制备CIAS薄膜的成膜机制63
　　5?3?2IFTUMS技术制备CIAS薄膜的成膜机制68
　　参考文献70
　　第6章CdS和ZnS薄膜72
　　6?1CdS薄膜性能72
　　6?1?1CdS薄膜TEM与XPS分析72
　　6?1?2CdS薄膜工艺对性能的影响78
　　6?2ZnS薄膜性能94
　　6?2?1ZnS薄膜TEM与XPS分析94
　　6?2?2ZnS薄膜工艺对性能的影响99
　　6?3CBD法薄膜的成膜机制114
　　6?3?1化学水浴反应原理114
　　6?3?2CdS薄膜的成膜机制115
　　6?3?3ZnS薄膜的成膜机制117
　　参考文献118

　　本书主要介绍太阳能电池、铜铟硒（CIS）类太阳能电池及其关键材料。阐述了铜铟铝硒（CIAS）薄膜及CdS、ZnS薄膜的制备和表征方法。研究了不同硒化工艺对CIAS薄膜性能的影响，以及Al相对含量对CIAS薄膜性能的影响，并从成膜一般规律与制备过程探讨了真空蒸发多层膜(VEMF)法与中频孪生非平衡磁控溅射(FTUMS)技术两种方法制备薄膜的成膜过程与机理。研究不同工艺条件对CdS、ZnS薄膜性能的影响，并从化学水浴法（CBD）的成膜原理探讨了CdS和ZnS薄膜的成膜过程。